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我院主持起草的两项国家标准开始实施
2021-02-26 15:55   审核人:

由机械工程学院须颖教授主持起草的GB/T 38616-2020《纳米定位与扫描平台术语》和GB/T 38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》两项国家标准已于2020年11月开始实施,我院安冬、邵萌、王贺、石怀涛等教师参与了国家标准的起草工作。

纳米定位与扫描技术是与超精密加工和测量相关的高新科技产业的基础和核心技术之一,应用领域涉及半导体加工和检测设备、LCD 平板显示器的加工和检测设备、MEMS与NEMS制造加工设备、微纳米观测仪器(SPM、SEM等)、生物医学显微和操作仪器、通讯业制造设备、大规模存储器制造设备、精密光学设备以及航空航天、军事国防等几乎所有高科技研究领域,成为高端产业发展必不可少的部分。《纳米定位与扫描平台术语》标准的实施,可极大提升我国在该领域中对世界范围的影响力。

超精密制造技术的高速发展态势,如微系统技术、微机电系统以及半导体最小特征尺寸的持续突破,促使超精密工程发展进入了纳米级尺度系统,而基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的分辨率可以达到次纳米级,因而是国际上目前应用最广泛的一种定位扫描平台。《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》国家标准针对基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的基本特征,建立一种有助于用户和制造商的有效统一的方式对仪器规格和技术指标提供验收检测的方法和依据,可有效地规范生产厂商的产品定位,帮助国内用户判断产品的品质,助力用户对产品的性能理解,推动高端制造业的产业发展。

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